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    超快極紫外(EUV)阿秒多層反射鏡

    簡(jiǎn)要描述:UltraFast Innovations (UFI)極紫外(EUV)阿秒多層反射鏡
    設(shè)計(jì)用于65eV(19nm)下的 330 阿秒脈沖
    具有38%峰值反射率的多層鍍膜
    ≤1Å 表面粗糙度超拋光基底
    另外提供專為 13.5nm 設(shè)計(jì)的極紫外(EUV)平面反射鏡 和 極紫外(EUV)球面反射鏡
    備有現(xiàn)貨庫(kù)存
    無(wú)最小起訂量、無(wú)鍍膜批次費(fèi)用

    基礎(chǔ)信息

    產(chǎn)品型號(hào)

    廠商性質(zhì)

    經(jīng)銷商

    更新時(shí)間

    2026-01-06

    瀏覽次數(shù)

    1699
    詳細(xì)介紹
    品牌Edmund Optics價(jià)格區(qū)間面議
    組件類別光學(xué)元件應(yīng)用領(lǐng)域綜合

    UltraFast Innovations (UFI)極紫外(EUV)阿秒多層反射鏡

    設(shè)計(jì)用于65eV(19nm)下的 330 阿秒脈沖

    具有38%峰值反射率的多層鍍膜

    ≤1? 表面粗糙度超拋光基底

    另外提供專為 13.5nm 設(shè)計(jì)的極紫外(EUV)平面反射鏡 和 極紫外(EUV)球面反射鏡

    備有現(xiàn)貨庫(kù)存

    無(wú)最小起訂量、無(wú)鍍膜批次費(fèi)用


    通用規(guī)格

    直徑 (mm):
    25.40 ±0.13
    基底:
    Fused Silica (Corning 7980)
    后表面:
    Commercial Polish
    涂層規(guī)格:
    Rs > 38% @ 65eV/19nm
    涂層:
    EUV Multilayer (19nm)
    入射角 (°):
    5
    有效孔徑 (%):
    80
    設(shè)計(jì)波長(zhǎng) DWL (nm):
    19
    邊緣:
    Fine Ground
    表面粗糙度(埃):
    <1
    Center Energy (eV):
    65 ±2
    Bandwidth (eV):
    6
    Supported Pulse Duration:
    330 attoseconds
    邊緣厚度 ET (mm):
    6.35 ±0.20


    型號(hào)

    產(chǎn)品編碼 標(biāo)題 
    #16-76525.4mm Dia., 19nm (65eV), 5° EUV/XUV Attosecond Multilayer Flat Mirror
    #16-76625.4mm Dia. x 250mm EFL, 19nm (65eV), 5° EUV/XUV Attosecond Multilayer Concave Mirror
    #16-76725.4mm Dia. x 500mm EFL, 19nm (65eV), 5° EUV/XUV Attosecond Multilayer Concave Mirror

    詳細(xì)資料

    UltraFast Innovations (UFI)的極紫外光(EUV/XUV)阿秒多層反射鏡設(shè)計(jì)用于阿秒脈沖的轉(zhuǎn)向、聚焦和整形。他們的多層膜中心位于65eV(19nm),帶寬為6eV(1.8nm),為 S 偏振光提供38%的峰值反射率。這些反射鏡支持持續(xù)時(shí)間為330阿秒的極紫外(EUV)脈沖。 UFI極紫外(EUV/XUV)阿秒反射鏡是基于高次諧波(HHG)、自由電子激光器(FEL)或其他量子光學(xué)應(yīng)用產(chǎn)生和整形阿秒脈沖的理想選擇。

    原子般精密的離子束沉積可以獲得原子般光滑的鍍膜。這些反射鏡能夠在不斷增長(zhǎng)的應(yīng)用空間中高效精確地控制波長(zhǎng)和光譜相位。亞秒科學(xué)突破了超快激光器的極限,提供了接觸一些最基本的科學(xué)過(guò)程的機(jī)會(huì),如:電子的運(yùn)動(dòng)。極紫外(EUV)反射鏡也被稱為XUV/軟X射線反射鏡。極紫外(EUV)阿秒多層反射鏡背后的物理原理是來(lái)自多層膜堆疊的每個(gè)界面反射和散射 EUV 輻射的干涉。可提供直徑為25.4mm的平面反射鏡和凹面反射鏡;如果您的應(yīng)用需要定制中心能量、帶寬或其他規(guī)格的極紫外(EUV)多層反射鏡,請(qǐng)與我們聯(lián)系。

    技術(shù)數(shù)據(jù)

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